1. »·¾³½éÉÜ
´ó¼Ò¶¼ÖªµÀ, ȫеĸÐÓ¦Æ÷¶¼Ñ¡ÓÃ΢»úµçϵͳ (MEMS) ¼¼ÊõÐÔ¡£¸ù¾Ý MEMS µÄµç×ÓÆ÷¼þ (¸ÐÓ¦Æ÷ºÍÖ¶¯Æ÷) ÔÚ´ó¸Å 10 ÄêÒÔÇ°Öð½¥½øµ½Åä´÷ÉÌÆ·ÏúÊÛÊг¡, ÔڼƲ½Èí¼þÖÐ, ¼ÓËٶȴ«¸ÐÆ÷³õ´ÎÈ¡´ú½Å̤ʽŤ»É¡£
ÒÔÍùÊ®Äê, MEMS ¼¼ÊõÐÔ»ñµÃÃ÷ÏÔ·¢Õ¹, MEMS ÉÌÆ·Éú²úÉÌ°ÚÍÑÁËÉú²úÖÆÔì¼Ó¹¤¹¤ÒÕÊÔÁ¶, Ð嵀 MEMS ÉÌÆ·ºÜ¶à²»¶ÏÓ¿ÏÖ, ¹æ¸ñ¸ü¼ÓС, ÌØÐÔÏÔÖøÌá¸ß, Óë´ËͬʱÊг¡¼Û´ó·ù¶È¼õÉÙ, ÕâÖÖ·¢Õ¹ÎªÅä´÷ÉÌÆ·Íê³ÉÐÂÔËÓÃƽÕûÁË·Ãæ¡£
¼ÓËٶȴ«¸ÐÆ÷¡¢ÊÖ»úÍÓÂÝÒÇ¡¢´ÅÇ¿¼ÆµÈ¹ßÐÔÁ¦¸ÐÓ¦Æ÷ºÍ¹¤×÷ѹÁ¦¡¢»·¾³Êª¶È¡¢×ÏÍâ¹âÖ¸ÊýÖµµÈ×ÔÈ»»·¾³¸ÐÓ¦Æ÷±»ÆÕ±éÓÃÒÔÏû·ÑÐÔÅä´÷ÉÌÆ·, µ«ÊÇ, רÓýâ¾ö·½·¨È´±ØÐ붩ÖÆµÄ MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷¡£±ÈÈç, MEMS Çà¹â½üÊÓÑÛ¾µÊÇÒ»ÖÖÃàÈíµÄÒ»´ÎÐÔ¹èÒþÐÎÑÛ¾¦, ÄÚǶһ¸ö MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷, ÓÃÒÔ²¶»ñÑÛ½ÇĤÇø×Ô·¢ÖáÏòת±ä ¡£ÓÉÓÚ¿ÉÒÔ 24 ÖÓÍ·³ÖÐø΢´´¾«È·²âÁ¿ÑÛ½ÇĤת±ä, ¸Ã½â¾ö·½·¨ÊÇÏֽ׶μø±ðÕý³£ÑÛѹ±Õ½ÇÐÍÇà¹âÑۺͷDZսÇÐÍÇà¹âÑÛµÄ×îºÃÓ÷½Ê½ ¡£
MEMS ¼¼ÊõÐÔ»¹ÓÃÀ´Éú²úÖÆÔì΢Ö¶¯Æ÷¡£ÔÚ½»Ò׺ÍÕïÁÆÏúÊÛÊг¡ÉÏ, ΢Ö¶¯Æ÷¿ÉÈÃÅä´÷ÉÌÆ·Íê³ÉÐí¶àÐÂÔËÓᣱÈÈç, MEMS ΢Ö¶¯Æ÷ÓÃÒÔÈÃ΢·´É侵Ƭ¸ßƵת¶¯, ½«Í¶Éä¹âÔ´·´ÉäÃæµ½Ò»¸ö±í²ã¡£½ñÈÕ, ÔÚÐí¶àÅä´÷ÉÌÆ·ÉÏÃæÄÜ¿´Çå³þÕâÖÖ΢¾µ, ±ÈÈç, ̧ÏÔ (HUD)¡¢ ´÷×ÅÏÔʾÆÁ(HMD) ºÍÐéÄâÏÖʵ¼¼Êõ(VR) ½üÊÓÑÛ¾µ¡£Î¢Ö¶¯Æ÷»¹±»ÓÃÒÔ¿ª·¢Éè¼ÆÅä´÷ʽСÐÍѪ͸»ú, ±ÈÈç, ÒȵºËØ×¢Éä±Ã¡£Debiotech ÆóÒµÔËÓà MEMS ΢Ö¶¯Æ÷¿ª·¢Éè¼Æ³öÒ»¸öÒȵºËرýâ¾ö·½·¨, ÕâÒ»ÆøÌå¹ýÂËÆ÷ÒÔÒ©ÌùΪý½é, ÓÉÒ»´ÎÐÔҩˮģ¿éºÍ¿ØÖÆ°å¹¹³É, ¿ØÖÆ°å°üº¬Ò»¸ö¸ù¾Ý MEMS ΢Ö¶¯Æ÷µÄÆøÌå¹ýÂËÆ÷Ä£¿é¡£
ϱß, ´ó¼Ò̽ÌÖ MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷ÔÚÅä´÷É豸ÖеĹ¦Ð§¼°ÆäÐÐҵǰ¾°¡£
2.MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷ÔÚÅä´÷ÉÌÆ·ÏúÊÛÊг¡µÄ·¢Õ¹Ê·
MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷»ñµÃÅä´÷ÉÌÆ·ÏúÊÛÊг¡ÈÏͬ²¢»ñµÃ³É¹¦, µÃÒæÓÚÏÂÁÐËĸöÒòËØ:
i. ¹æ¸ñ:
×î½ü¼¸Äê, MEMS ´«¸ÐÆ÷³ß´çÃ÷ÏÔ¼õËõ¡£Ê®ÄêÇ°, ÏúÊÛÊг¡ÉÏ×îµÍµÄ MEMS ¼ÓËٶȴ«¸ÐÆ÷±ØÐëÔÚÓ¡Ë¢Ïß·°å (PCB) ÉÏÕ¼ÓÐÔ¼ 35mm2 µÄ×ÜÃæ»ý¡£ÏÖÈç½ñ, ȫеÄÐÔÄÜ׿Խ¼ÓËٶȴ«¸ÐÆ÷Ö»Ðè 4mm2 µÄÊÒÄÚ¿Õ¼ä[4, 5], µÈͬÓÚÒ»¸öÎ÷ºìÊÁ×ѵijߴ硣ÕâÖÖ΢ÐÍ´«¸ÐÆ÷ÔڽϴóˮƽÉÏÐÖúÅä´÷ÉÌÆ·ËõС, ½ø¶øÌáÉýÁ˲»Ò»ÑùÏúÊÛÊг¡¶ÔÅä´÷ÉÌÆ·µÄ½ÓÊ̶ܳȡ£
ii. ¹¦ÄÜËðºÄ:
È«²¿Åä´÷ÉÌÆ·Éú²úÉ̶¼ÆÚÍû×ÔÉíµÄ³äµçµç³ØÅäµçÉÌÆ·Óиü³¤µÄÐøº½Ê±¼ä¡£MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷Éú²úÉÌΪ¼õÉÙ¸ÐÓ¦Æ÷µÄ¹¦ÄÜËðºÄ×ʽðͶÈë·Ç³£´ó, ²¢µÃµ½Á˾޴ó³É¾Í¡£±ÈÈç, Á½ÄêÇ°, ¼ÓËٶȴ«¸ÐÆ÷µÄ¹¦ÄÜËðºÄÔ¼ 0.7mA, Ò»ÌåʽÊÖ»úÍÓÂÝÒǵŦÄÜËðºÄÔ¼ 6mA, ¶þÕß¹¦ÄÜËðºÄ×ÜÊý´ó¸Å 7mA¡£ÏÖÈç½ñ, ÔÚͬÑùµÄ¸ÐÓ¦Æ÷Å䱸±ê×¼ÏÂ, ¼ÓËٶȴ«¸ÐÆ÷ºÍÊÖ»úÍÓÂÝÒǹ¹³ÉµÄÐÔÄÜ׿Խ MEMS ¹ßÐÔÁ¦¿ØÖÆÄ£¿éµÄ¹¦ÄÜËðºÄ²»¹» 1mA¡£¹¦ÄÜËðºÄ´ó·ù¶È¼õÉÙ¼ÓËÙÁ˶à¸ÐÓ¦Æ÷¿ØÖÆÄ£¿éÔÚÅä´÷ÉÌÆ·ÏúÊÛÊг¡µÄÓ¦ÓÃÍƹã, ²¢´Ù½øÅä´÷ÉÌÆ·ÏúÊÛÊг¡²ã³ö²»ÇîºÜ¶àÐÂÆ·¡£
iii. ¼ÛÇ®:
×î½ü¼¸Äê, MEMS ´«¸ÐÆ÷¼Û¸ñ´ó·ù¶È½µµÍ, Ôì³ÉÅä´÷ÉÌÆ·µÄÊг¡¼Ûϵø, ÈÃÒ»°ã¹Ë¿ÍÒ²¿ÉÒÔÂòÆð¡£Ê®ÄêÇ°, ¼ÓËٶȴ«¸ÐÆ÷µÄÊг¡¼Û¸ß¹ý 3 ÃÀ½ð; ½ñÈÕ, Ò»¿Å×÷ÓøüÓÅÐã¡¢ÌØÐÔ¸üÇ¿µÄ¼ÓËٶȴ«¸ÐÆ÷´ó¸Å 30 ±ãÊ¿¡£°éËæ×Å MEMS ´«¸ÐÆ÷¼Û¸ñ²»¶ÏÏ´ì, MEMS ¼¼ÊõÐÔ²»¶Ï·¢Õ¹, ´óÁ¿µÄ MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷»ñµÃÁ˹æÄ£¾¼ÃЧӦ¡£
iv. Ó²¼þÅäÖü¯³É»¯ÓëÄÚǶʽ×÷ÓÃ:
ÔÚÒ»¸ö·â×°ÐÎʽÄÚ¼¯³É»¯ºÃ¼¸¸ö¸ÐÓ¦Æ÷ºÍ×÷ÓÃ, ÓÐÀûÓÚÓ²¼þÈí¼þ¼¼Êõ¹¤³Ìʦ¸üѸËÙ¡¢¸üÇáÇáËÉËɽ«¸ÐÓ¦Æ÷¼¯³É»¯µ½Åä´÷ÉÌÆ·ÄÚ¡£³ýÓ²¼þÅäÖü¯³É»¯Íâ, ¸üרҵµÄ»ù±¾¹¦ÄܺÍÄÚǶʽÓÅ»¯Ë㷨ΪÔËÓÿª·¢Õ߸øÓèÒ»¸öÇ¿º·µÄÈí¼þ¿ª·¢Æ½Ì¨, ¼ÓËÙÔËÓù¤³Ì¿ª·¢Éè¼ÆËÙÂÊ¡£
3. ¸ÐÓ¦Æ÷ÔÚÅä´÷É豸ÖеÄÔËÓÃ
Åä´÷ÉÌÆ·µÄÈ¡µÃ³É¹¦ÔڽϴóˮƽÉϵÃÒæÓÚÆä¾ßÓеÄ×÷ÓÃ, ÊÐÃæÉÏÕýÔÚÏúÊÛµÄʹÓÃÉÌÆ·¿ÉÒÔΪ¿Í»§´øÀ´¸÷ÖÖ¸÷ÑùÓÅÐãµÄ»ù±¾¹¦ÄܺÍÌص㡣
Åä´÷ÉÌÆ·×ÔÈ»»·¾³ÈÏÖª×÷ÓÃÊÇÒ»¸ö·Ç³£µäÐ͵ĸÐÓ¦Æ÷Êý¾ÝÐÅÏ¢ÔËÓÃʵÀý¡£¼ìÑéÈËÀà»î¶¯ÊÇ×ÔÈ»»·¾³ÈÏÖªÈí¼þϵͳµÄÒ»¸ö¹Ø¼ü¿ØÖÆÄ£¿é, ÓÉÓÚ±ØÐ뿼Âǵ½²»Ò»ÑùµÄÓ¦ÓÃÁìÓò, Òò´ËÈËÀà»î¶¯¼ìÑéÊÇÒ»¸ö¾ß±¸È¤Î¶ÐԵķ±ÔÓ¼¼ÊõÐÔ¡£
¿Í»§½»Í¨³öÐкÜÓпÉÄÜͽ²½¡¢Æï³µ»ò¼ÝÊ»¡£
ÌÈÈô¿Í»§Í½²½, Ôò±ØÐ뿼Âǵ½¾²Ö¹²»¶¯¡¢×ß²½¡¢¿ì²½×ß¡¢ÂýÅÜ¡¢ÉÏÏÂÂ¥ÌÝ¡¢³Ë×øµçÌݵÈÇé¾°¡£
ÌÈÈô¿Í»§²ÎÓëÌåÓý¾ºÈü»ò½¡Éí¶ÍÁ¶, ºÜÓпÉÄÜ·¢ÉúµÄÇé¾°°üº¬ÓÎË®¡¢×ªºôÀ²È¦»ò³¡Ëù½¡ÉíÔ˶¯ (ÓðëÇò¡¢ÀºÇòÈüµÈ)¡£
ƳÊÓ¡¢Ê°¼ñ¡¢ÊÕ¿´¡¢»Î¶¯¡¢ÇáÅÄ¡¢»Ó»÷¡¢×ª¶¯¡¢¼°Æä¿Í»§½ç¶¨µÄ×Ë̬Ҳ±ØÐ뿼Âǵ½¡£
Åä´÷ÉÌÆ·ƒÈ²¿×ÔÈ»»·¾³ÈÏ֪ϵͳÈí¼þÔÚÉíÐĽ¡¿µÒ½»¤²ãÃæÒ²ÆðÖ÷Òª¹¦Ð§:
ÀÏÄêÈËרÓÃÐÍÅä´÷ÉÌÆ·¿ÉÒÔ¼ìÑéÈÕ³£ÈÕ³£Éú»îDZÔÚÐԵķçÏÕ×´¿ö, ±ÈÈç, µøµ¹, »òÊÇ¿ÉÒÔ¼ìÑéÐĵç¼à»¤, Ô¤²â·ÖÎö½ô¼±½ô¼±µÄ½¡¿µ·çÏÕ¡£
ÉíÌåÖ÷Ìâ»î¶¯Öеĸıä»òÊ®·Ö¿ÉÓÃÒÔÃ÷ȷһЩ²¡Ö¢µÄÔçÆÚÖ¢×´, Òò¶ø, Åä´÷ʽÉíÐĽ¡¿µ¼àÊÓϵͳ¼ìÑéÕâÖÖת±ä»ò³öÏÖÒì³£, ÐÖúÒ½ÁÆÈËÔ±¾¡Ôç·¢¾õÓëÄê¼ÍÓйصIJ¡Ö¢»òÃ÷ÏÔµÄÉíÌå×´¿ö¡£ÒÔ³¤ÆÚÐÔ½¡¿µ¼à²â·½°¸ÎªÀý×Ó, Åä´÷ʽÉíÐĽ¡¿µ¼àÊÓϵͳ¿É¼ìÑéÕâЩԤÕ×·çʪ²¡ºÍÀÏÄê³Õ´ôÔçÆÚÖ¢×´µÄÈËÌåת±ä»ò³öÏÖÒì³£¡£
Åä´÷ʽ×ÔÈ»»·¾³ÈÏÖªÌáʾ×÷ÓÿÉÒÔΪÐÐ×ß²»±ãµÄÀÏÈ˸øÓèÈÕ³£ÈÕ³£Éú»îÐÖú, ±ÈÈç, ÓïÒô¿ØÖƽô¼±µç»°ºÍ´ò¿ªÃÅʱȫ×Ô¶¯´òµÆ, ÓªÏúÍƹã¸ü»ý¼«Ö÷¶¯¡¢½¡¿µµÄÉú»î·½·¨, ¸øÓèÒ»¸öÂýÐÔ¼²²¡¹ÜÀíϵͳ¡£
4. Åä´÷ÉÌÆ·¸ÐÓ¦Æ÷
´ó¼Ò½ñÌì̽ÌÖµÄÈ«²¿Çé¾°±íÃ÷, ÔÚÅä´÷É豸ÖÐ, ÈËÀà»î¶¯ÎÞËð¼ì²â¼¼ÊõµÄ¶àÔªÐÔÊ®·Ö¸ß, ±ØÐëʹÓúü¸¸ö¸ÐÓ¦Æ÷¡£Í¼ 1 ËùÏÔʾÊÇһЩȫеĿÉÓÃÒÔÅä´÷ÉÌÆ·µÄ¸ÐÓ¦Æ÷¡£Ã¿Ò»¸ö¸ÐÓ¦Æ÷¶¼¸øÓèÓÐЧµÄ¿Í»§Êý¾ÝÐÅÏ¢ÒÔ¼°É罻ýÌåºÍÎïÀíѧ×ÔÈ»»·¾³ÐÅÏ¢ÄÚÈÝ¡£Í¨¹ýÈںϡ¢½â¾ö¡¢ÆÊÎöºó, ¸ÐÓ¦Æ÷Êý¾ÝÐÅÏ¢¿ÉÓÃÒÔÔì¾ÍÓÐЧµÄרҵ֪ʶ, Ϊ¾ö²ßÖ§³Öϵͳ¸øÓè±ØÒªµÄÊÊÓá£
ͼ 1: Åä´÷ÉÌÆ·Äڵĺü¸¸ö¸ÐÓ¦Æ÷
ÔÚ½ñÌìµÄʹÓÃÉÌÆ·ÏúÊÛÊг¡ÉÏ, ¸ÐÓ¦Æ÷Éú²úÉÌѸËÙÒâʶµ½, Ö»¸øÓè¸ÐÓ¦Æ÷Ó²¼þÅäÖýâ¾ö·½·¨²»ÄÜÀ©ÕÅÊг¡Õ¼ÓÐÂÊ¡£Îª²î±ðÓÚ¾ºÕùÕß, ³ýÓ²¼þÅäÖýâ¾ö·½·¨Íâ, ¸ÐÓ¦Æ÷Éú²úÉÌ»¹Ó¦¸øÓèAPP, ±ÈÈç, ¸ÐÓ¦Æ÷Êý¾ÝÐÅÏ¢ÈÚºÏ [7]¡£APP½â¾ö·½·¨¿É×÷ΪÓÅÐãÔËÓõĿØÖÆÄ£¿é, ÈÚºÏÓ²¼þÈí¼þµÄ½â¾ö·½·¨Îª¿Í»§¸øÓèÒ»¸öÈí¼þ¿ª·¢Æ½Ì¨, Òò¶ø, APP½â¾ö·½·¨ÒѾ±ä³É²úÆ·¸öÐÔ»¯µÄÖ÷ÒªÒòËØ¡£
ͼ 2 ËùÏÔʾµÄ SensorTile ¾ÍÕâÑùÒ»¸öÔËÓÃʵÀý¡£Õâ¸öСÍâÐγߴçµÄÓ¡Ë¢Ïß·°åÊÇΪÅä´÷ʽÉè¼Æ²úÆ·, Å䱸ºÃ¼¸¸ö¸ÐÓ¦Æ÷ºÍÒ»¿Å Cortex-M4 ΢´¦ÀíÆ÷, ¿ª·¢Õß¿ÉÒÔ°ÑÕâ·½Ãæľ°åÓëÒ»¸ö»ù×ùºÍÒ»¸öÍØÕ¹°å°²×°ÔÚÒ»Æð, ¹¹½¨Ò»¸öÍêÈ«µÄ¿ª·¢»·¾³Ä£¿é [8]¡£
ͼ 2:SensorTile ¿ª·¢Éè¼ÆÄ£¿éµÄÖ÷ҪϵͳÈí¼þ
5.MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷ÔÚÅä´÷ÉÌÆ·ÏúÊÛÊг¡µÄÊг¡Ç°¾°
Åä´÷ MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷µÄÐÐҵǰ¾°¿íÀ«¡¢¹â»Ô¡£Ïֽ׶ÎÒѾ¿ª·¢Éè¼ÆµÄ¸ÐÓ¦Æ÷°üº¬ÑÌÎí´«¸ÐÆ÷ºÍÉúÎï´«¸ÐÆ÷, ÕâÖÖÔªÆ÷¼þ¿ÉÄÜÈÃÅä´÷ÉÌÆ·Ô½À´Ô½¸üºÃÓÃ, ÌØÐÔ¸üÇ¿¾¢¡£ÔÚÒ»¶Îʱ¼äµÄδÀ´, ÖØÒª´´Ð³ɹûºÍ¼¼Êõ½ø²½¿ÉÄÜÌáÉýÄ¿Ç°¸ÐÓ¦Æ÷µÄʹÓÃÐÔÄܺÍAPP´¦ÀíËÙ¶È, ÐÖúÅä´÷ÉÌÆ·Éú²úÉ̼òµ¥»¯Éè¼Æ·½°¸, ¼ÓËÙÓ¦ÓóÌÐò¿ª·¢¡£ÄÚǶʽ״̬»ú¡¢ÖÇÄÜ»¯×÷ÓᢳÌÐò±àд×÷Óà ¡¢ÌáÉýµÄ²ÉÑùÂʺÍÓÅ»¯µÄÌØÐÔ, ¿ÉÄÜ°ÑÅä´÷ÉÌÆ·Ìá¸ßµ½Ò»¸öÈ«ÐÂÉý¼¶µÄÈËÉú¾³½ç¡£ÖÇÄÜ´«¸ÐÆ÷¼¼Êõ½«¸øÓèÈËÀà»î¶¯×Ô¶¯Ê¶±ð×÷ÓÃ, ±ÈÈç, ͽ²½¡¢¿ì²½×ß¡¢ÂýÅÜ¡¢Æï³µ¡¢¼ÝÊ»ºÍ¾²Ö¹²»¶¯¡£ÏÂÒ»´úÖÇÄÜ´«¸ÐÆ÷¼¼Êõ¿ÉÄܸøÓè³ÌÐò±àд×÷ÓÃ, Éè¼Æ·½°¸¹¤×÷ÈËÔ±Ö»½èÖú¸ÐÓ¦Æ÷ƒÈ²¿ÄÚǶʽ¼ÆËã¼¼ÄܾÍÄÜ¿ª·¢Éè¼ÆÔËÓÃ, ¶ø²»ÓÃÓ¦ÓÃÍâ½ç΢´¦ÀíÆ÷¡£ÕâÖÖÔËÓý«´ó·ù¶È½µµÍ¹¦ºÄ, ´ïµ½Åä´÷ÉÌÆ·ºÍÎïÁªÍø¼¼Êõ (IoT) ¸ÐÓ¦Æ÷Á¬½ÓµãµÄ×ÔʼÖÁÖÕÒª´¦ÔÚÔËÐÐ״̬µÄ¹æ¶¨¼°ÆäÆäËû¾ß±¸È¤Î¶ÐÔµÄÒªÇó¡£
°éËæ×ÅÅä´÷ÉÌÆ·¼¯³É»¯´óÁ¿µÄ¸ÐÓ¦Æ÷, ¸ÐÓ¦Æ÷ÐÅÏ¢Á¿ÒѾÃ÷ÏÔÌáÉý¡£ÊÜÖÆÓÚ¹¦ÄÜËðºÄ, Åä´÷ÉÌÆ·µÄ¼ÆËãÄÜÁ¦ÓÐÏÞ, ²âËã¡¢½â¾öºÍÆÊÎöº£Á¿Êý¾ÝÐÅÏ¢½«³¬¹ýÅä´÷ÉÌÆ·µÄ¹¦ÄÜ·¶³ë¡£Òò´Ë, Ðí¶àÊý¾ÝÐÅÏ¢½«·¢ËÍÖÁÔÆ¿Õ¼ä, ½»¸øÔÆÖ÷»ú¿ªÕ¹ÓÀ¾ÃÐÔ¡¢°²È«ÐԵĴ¦Öúʹ¢´æ¡£
6. ¼±Ðè½â¾öµÄÊÔÁ¶
ΪÈôóÁ¿µÄ¹Ë¿Í½ÓÄÉÅä´÷ÉÌÆ·, Åä´÷ÉÌÆ·Éú²ú³§¼ÒÎñ±Ø°ÚÍÑÆäËùÃæ¶ÔµÄ¹Ø¼üÊÔÁ¶¡£Í¼ 3 ÁоÙÁ˼¼ÊõÐÔ·½ÃæºÍ¹Ë¿Í·½ÃæµÄÊÔÁ¶¡£¼¼ÊõÐÔÊÔÁ¶°üÀ¨Êý¾ÝÐÅÏ¢µÄ²»¶ÏÒ×ÓÃÐÔ¡¢Ò»ÖÂÐÔºÍÎȶ¨ÐÔ¡£ÕâÖÖÊÔÁ¶¹æ¶¨×ÔʼÖÁÖÕ¹¤×÷ÖеĸÐÓ¦Æ÷Îñ±Ø³ÖÐø²¶»ñÊý¾ÝÐÅÏ¢, ²¢½«ÕâÖÖÐÅÏ¢ÒÔ¿¿Æ׵ķ½·¨Ìá½»ÖÁÍø¹Øip»òÔÆÖ÷»ú, ¿ªÕ¹ºóÃæ½â¾ö¡£
Åä´÷ÉÌÆ·Îñ±ØΪ¿ª·¢ÈËÔ±¸øÓèÔËÓÃÈí¼þ¿ª·¢Æ½Ì¨, ÓÉÓÚÅä´÷ÉÌÆ·µÄʹÓúÍ×÷ÓÃÔ½¶à, Åä´÷ÉÌÆ·µÄDZÔÚ¿Í»§²Å»áÔ½´ó¡£
¹Ë¿Í·½ÃæµÄÊÔÁ¶°üº¬Êý¾ÝÐÅÏ¢°²È«ÏµÊý¡¢¸öÈËÒþ˽±£»¤ºÍ¿Í»§ÂúÒâ¶È¡£µ±Éæ¼°µ½Ë½ÈËÐÅÏ¢Êý¾ÝÐÅϢʱ, ¿Í»§²»ÈÝÒ×Èò½Í×С£Åä´÷ÉÌÆ·Éú²úÉÌÎñ±Ø¿ÉÒÔÈ·±£±¾ÈË´«ÊäÊý¾Ý°²È«ÐÔ, ½öÓÐÊÜȨµÚÈý·½²ÅÓÐȨÀûä¯ÀÀ¿Í»§Êý¾ÝÐÅÏ¢¡£
³ý´ËÖ®Íâ, ÖÇÄÜ´©´÷²úÆ·Îñ±Ø°²È«ÐÔ, ÎÞÉíÐĽ¡¿µÎ£º¦, ÓÈÆäÊÇÒ½ÁÆÖÇÄÜ´©´÷²úÆ·Îñ±Ø°²È«ÐÔ, ³£ÓòÄÁÏÎÞÓк¦Îï, ²»ÈÝÒ×ÎÛȾ»·¾³¡£
ÖÁ½ñ, Åä´÷ÉÌÆ·ÔڽϴóˮƽÉÏ»¹ÎÞ·¨Ê¹¾ÅÓλáJ9ÕæÈ˼ûµ½³¤ÆÚµÄÓû§Õ³ÐÔ¡£¼ÙÈçÅä´÷ÏúÊÛÊг¡½«À´Ôö³¤ÊÆÍ·¸üÇ¿º·, Éú²úÉÌÔò±ØÐë¸ü»ý¼«Ö÷¶¯ÌáÉý¿Í»§µÄ¶ÔÆäÉÌÆ·µÄÂúÒâ¶È, ÄÇÑù¿Í»§²Å¿ÉÒÔÈ«·½Î»ÊìϤÕâÖÖÉÌÆ·µÄÓŵã, Áé»îÔËÓòúÆ·ÌØÐÔ¡£
7. ½á¹û
¿ÉÒÔ˵, ›]ÓÐ MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷, ¾Í›]ÓÐÅä´÷ÉÌÆ·ÏúÊÛÊг¡¡£ÔÚÅä´÷ÉÌÆ·ÏúÊÛÊг¡½«À´·¢Õ¹Ç°¾°ÉÏ, MEMS ¸ÐÓ¦Æ÷½«ÔÙ´ÎÊÎÑݹؼüÈËÎï½ÇÉ«¡£¸ÐÓ¦Æ÷¼¯³É»¯¡¢ÄÚǶʽ×÷Óá¢APPºÍ³ÌÐò±àд½«ÊÇÅä´÷ÉÌÆ·µÄ½ø²½Çý¶¯Á¦¡£¾¡¹ÜÔÚ¼¼ÊõÐԺ͹˿ͷ½ÃæÓм±Ðè½â¾öµÄÊÔÁ¶, ¿ÉÊÇÅä´÷ÉÌÆ·ÐÐҵǰ¾°ÈÔÈ»¿´ÖС£
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¾ÅÓλáJ9ÊÇÒ»¼ÒÁ¢×ãÓÚÉîÛÚרעÓÚ·ú¸ÄÐÔ¾Ûõ¥ÄÉÃ×Í¿²ã²ÄÁÏÑз¢ÖÆÔìÓëµç×Ó·À»¤ÕûÌå½â¾ö·½°¸¹©Ó¦ÉÌ£¬ÒÑ»ñÅú¹ú¼Ò¸ßм¼ÊõÆóÒµ£¬ÔÚ¾«Ãܵç×ÓÖÆÔ칤ÒÕÖÐΪPCBAÌṩ360¶ÈÈ«·½Î»·ÀË®¡¢·À³±¡¢·À¸¯Ê´µÄÄÉÃ×Í¿²ã±£»¤£¬¸ßЧÌáÉýÏß·°åÔÚ³±Êª»·¾³ÔËÐÐÎȶ¨ÐÔ¼°½µµÍ¹ÊÕÏÊÛºóÂÊ£¬ÊÇ»§Íâ²úÆ·½á¹¹·ÀË®µÄ»Æ½ð´îµµ£¬Ïû·ÑÀàµç×ÓÒ»¼ü·ÀË®·ÀÑÎÎíµÄºÃ°ïÊÖ£¬»¶ÓÁªÏµË÷È¡²âÊÔÑùÆ·¡£
´óÁ¿µç×ÓÄÉÃ×·À»¤Í¿²ã¼Á¡¢ÅäÌ×Åç¶ÆÉ豸¡¢OEM´ú¹¤·þÎñµÈÇë¹ØÐÄ¡°¾ÅÓλáJ9¡±Î¢ÐŹ«ÖÚºÅ
ÄÉÃ×Í¿²ã¼ÁÀí»¯ÐÔÄÜÏêϸ²ÎÊýÖ±½Óµã»÷£ºÄÉÃ×µç×Ó·À»¤Í¿²ã¼Á²ÎÊý
¼¼Êõ×Éѯ£ºÕÔÏÈÉú£º130 4896 4893
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